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激光刻蝕機(jī)適用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的導(dǎo)電材料進(jìn)行高速激光刻蝕、剝離。適用于氧化銦錫（ITO），銀漿（Ag）等涂層材料的觸摸屏行業(yè)超細(xì)線寬、超高速度激光蝕刻。
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設(shè)備適用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的導(dǎo)電材料進(jìn)行高速激光刻蝕、剝離。
適用材料
玻璃/薄膜表面氧化銦錫（ITO），銀漿（Ag）、碳納米管（CNT）、石墨烯、納米銀、鉬鋁鉬、銅、高分子導(dǎo)電膜、鋁薄膜、PERC、鈣鈦礦電池、FTO、TCO、碳粉等涂層材料的超細(xì)線寬激光蝕刻。
應(yīng)用行業(yè)
1.手機(jī)、車(chē)載、平板、智能穿戴，點(diǎn)餐機(jī)等觸控屏GF，GFF，OGS。
2.車(chē)載觸控屏體的OGS上導(dǎo)電膜層的刻蝕。
3.薄膜太陽(yáng)能電池、鈣鈦礦電池等光伏行業(yè)。
4.新興能源行業(yè)，如電致色調(diào)光玻璃等。
5.發(fā)光玻璃、戶外顯示玻璃、顯示柔性薄膜等。
6.其他顯示屏。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.激光蝕刻為干式蝕刻，加工制程簡(jiǎn)單，所有加工均由軟件自動(dòng)控制，產(chǎn)品一致性高，良率高達(dá)99%，無(wú)耗材，環(huán)保，可靠穩(wěn)定。
2.CCD相機(jī)自動(dòng)定位，加工精度高。
3.設(shè)備操作簡(jiǎn)單，圖檔更新方便，制程縮短，稼動(dòng)率高。
4.設(shè)備控制軟件能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)圖檔分割，移動(dòng)拼接加工，拼接精度可達(dá)±3μm
5.耗電量省，操作人員少，無(wú)污染，生產(chǎn)成本低。
技術(shù)參數(shù)/Specification
激光器 | 光纖激光器 | 綠光激光器 | 紫外激光器 |
激光波長(zhǎng) | 1064nm | 532nm | 355nm |
激光功率 | 20W | 10W | 10W |
脈沖寬度 | 納秒、飛秒、皮秒可選 | 納秒、皮秒可選 | 納秒、皮秒可選 |
最小聚焦光斑 | ＜10μm（視材料與激光器類(lèi)型、脈寬而定） | ||
最小刻蝕線寬 | ＜10μm（視材料與激光器類(lèi)型、脈寬而定） | ||
刻蝕速度 | ＜4000mm/s | ||
加工范圍 | 600mmX600mm（標(biāo)準(zhǔn)尺寸，可根據(jù)客戶要求定制） | ||
單次最大幅面 | 110mmX110mm (標(biāo)準(zhǔn)配置，根據(jù)需求可選配) | ||
CCD自動(dòng)定位精度 | ±3μm | ||
直線電機(jī)工作臺(tái)定位精度 | ±2μm | ||
直線電機(jī)工作臺(tái)重復(fù)精度 | ±1um | ||
設(shè)備尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | ||
設(shè)備重量 | 1800kg | ||
可處理文件格式 | 標(biāo)準(zhǔn)Gerber文件，DXF文件，PLT文件等 | ||
元祿光電已開(kāi)發(fā)出小型FTO、ITO激光刻蝕設(shè)備，可用于前期實(shí)驗(yàn)階段加工，歡迎電話咨詢了解。
激光刻蝕樣品
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