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    小型薄膜激光刻蝕機

    小型薄膜激光刻蝕設備

    適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。(1)設備型號:YLET1010MG (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。 (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。 (4)加工幅面為:100*100mm。

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    一、系統介紹激光刻蝕機

    (1)設備型號:YLET1010MG

    (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。

    (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。

    (4)加工幅面為:100*100mm。


            二、主要技術參數

    序號

    項目名稱

    技術參數

    1

    設備型號

    YLET1010MG

    2

    激光器

    納秒綠光激光器

    3

    波長

    532nm

    4

    功率

    5W

    5

    激光器頻率調節范圍

    30K-100KHZ

    6

    加工幅面

    100*100mm

    7

    聚焦光斑

    ≥50um(100mm幅面)

    8

    CCD抓靶精度

    ±10um

    9

    X/Y運動模組重復定位精度

    ±10um

    10

    刻蝕最小線寬

    ≥50um(100mm幅面)

    11

    最小線間隔距

    ≥50um(100mm幅面)

    12

    刻蝕速度

    <3000mm/S

    13

    主機設備尺寸

    1050*700*1660mm(L*W*H)

    14

    冷水機尺寸

    580*290*520mm(L*W*H)

    15

    抽塵機尺寸

    600*500*800mm(L*W*H)

    16

    主機設備重量

    300KG

    17

    主機額定功率

    3000W

    18

    可處理的文件格式

    標準CAD版本DXF文件


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